Experimental and theoretical investigations of low-pressure CVD of Cu using CuI as precursor

Möller, A.; Kall, R.; Till, V.; Wortberg, Gerd; Adomeit, Gerhard

Amsterdam : North-Holland Publ. Co. (1997)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of crystal growth
Band: 174
Heft: 1/4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 837-844

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